Excimerstrahler mit einer Wellenlänge von 172 nm haben die Reinigung von Oberflächen im Bereich der Halbleiter- und Flachbildschirmtechnik revolutioniert und sind heute nicht mehr aus diesen Bereichen wegzudenken. Erst auf Grund ihres Einsatzes konnten kleinste organische Verunreinigungen wirkungsvoll entfernt werden. Mittels der Excimerstrahlung werden längere Molekülketten aufgebrochen, Ozon aus der Umgebungsluft produziert und damit die organischen Substanzen aufoxidiert, so dass letztendlich flüchtiger Wasserdampf, Kohlenstoffmonoxid oder Kohlenstoffdioxid entstehen und somit die an der Oberfläche haftenden Substanzen verschwinden.
Excimerstrahler können aber auch eingesetzt werden, um Oberflächen zu aktivieren, dünnschichtige Substrate auf Oberflächen, wie Lacke oder Tinten, auszuhärten und zu verändern (beispielsweise für die Oberflächenmattierung).
Ein wichtiges Argument für den Einsatz von Excimerstrahlern ist die schnelle zeitliche Verfügbarkeit der Strahlung sowie die Möglichkeit nahezu beliebig oft ein- und ausschalten zu können. Ebenfalls ist deren Effizienz und damit verbunden die geringe Strahlung in anderen Wellenlängenbereichen (ebenfalls im Bereich der Wärmestrahlung) hervorzuheben.
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